Математическая модель системы автоматического управления движением подложкодержателя при имплантации

Авторы

  • Сергей Михайлович Морозов Московский государственный университет технологий и управления имени К.Г. Разумовского (Первый казачий университет)
  • Константин Анатольевич Кузьмин Московский государственный университет технологий и управления имени К.Г. Разумовского (Первый казачий университет)
  • Елена Викторовна Сокорева Национальный исследовательский Московский государственный строительный университет

DOI:

https://doi.org/10.28983/asj.y2021i5pp93-95

Ключевые слова:

нанотехнологии, наноструктуированные покрытия, ионная имплантация, метод ионной имплантации, система автоматического управления, квантованные данные, дискретный сигнал

Аннотация

Разработана структурная схема системы автоматического управления движением подложкодержателя вдоль оси Х. Проведено исследование подложкодержателя при его движении вдоль одной оси X. В пакете прикладных программ VisSim-32 представлена передаточная функция объекта и проведено моделирование описанного эксперимента.

Скачивания

Данные скачивания пока недоступны.

Биографии авторов

Сергей Михайлович Морозов, Московский государственный университет технологий и управления имени К.Г. Разумовского (Первый казачий университет)

канд техн наук

Константин Анатольевич Кузьмин, Московский государственный университет технологий и управления имени К.Г. Разумовского (Первый казачий университет)

канд пед наук

Елена Викторовна Сокорева, Национальный исследовательский Московский государственный строительный университет

преподаватель

Библиографические ссылки

Браун Я. Физика и технология ионных источников. – М.: Мир, 2018. – 429 с.

Габович М.Д. Физика и техника плазменных источников ионов. – М.: Атомиздат, 2016. – 290 с.

Комаров Ф.Ф.. Ионная имплантация в металлы. – М.: Металлургия, 2019. – 216 с.

Кузьмин К.А., Морозов С.М. Определение оптимальных режимов работы свч-установки для сушки и обжига строительного кирпича // Инженерный вестник Дона. – 2018. – № 3. – С. 75.

Москалев В.А., Сергеев Г.И., Шестаков В.Г. Измерение параметров пучков заряженных частиц. – М.: Атомиздат, 2017. – 160 с.

Патент РФ №2045103. «Дуоплазматрон» / Турчин В.И., Кондратьев Б.К. – Режим доступа: https://yandex.ru/patents/doc/RU2045103C1_19950927.

Разработка исходных концепций метрологического обеспечения измерительных и расчетных операций при автоматизации измерений / С.М. Морозов [и др.] // Аграрный научный журнал. – 2019. – № 4. – С. 87–89.

Morozov S., Kuzmin K., Makarov G. Neural network principle of implementation of digital filters // MATEC Web of Conferences (см. в книгах). 2018. No. 193. P. 102.

Morozov S., Kuzmin K., Pogodin D., Kochetkova L., Rogozhina A. Modeling of the management of the microwave grain drying process // E3S Web of Conferences. 2018 International Science Conference on Business Technologies for Sustainable Urban Development, SPbWOSCE 2018. 2019. С. 02142.

Загрузки

Опубликован

2021-11-17

Выпуск

№ 5 (2021)

Раздел

Агроинженерия

Лицензия

Copyright (c) 2021 Аграрный научный журнал

Лицензия Creative Commons

Это произведение доступно по лицензии Creative Commons «Attribution-NonCommercial» («Атрибуция — Некоммерческое использование») 4.0 Всемирная.

Наиболее читаемые статьи этого автора (авторов)